如果真空充氮烤箱出现故障，应该采取以下步骤进行处理：1.检查设备是否正常通电，检查电源插头是否插紧。

2.检查设备的控制面板是否出现故障，如闪烁、无反应等，若是则需要更换面板。

3.检查设备内部的加热管是否正常工作，是否需要更换。

4.检查设备内部的传感器是否损坏或松动，需要修理或更换。

5.检查设备的真空气路和氮气路是否正常，是否需要清洗或更换管路。

6.如果以上方法不能解决问题，需要联系专业的维修人员进行检修或更换设备。

在处理故障时，需要注意安全，切勿擅自拆卸或修理设备。如有疑问或不清楚操作，应该及时联系厂家或专业维修人员进行处理。