充氮烤箱半导体应用  充氮烤箱半导体应用的好处

充氮烤箱是一种常用的半导体器件制造工艺设备，它在半导体器件制造过程中起到保护和改善器件性能的作用。充氮烤箱的主要原理是通过在烤箱内充入氮气，将氧气排除，从而减少氧化反应对器件的影响。在半导体器件制造的过程中，氮气的充入可以有效地保护器件表面，防止氧化反应的发生，提高器件的质量和性能。

充氮烤箱在半导体工艺中的应用主要有以下几个方面：

1. 氧化反应控制：充氮烤箱可以在器件制造过程中控制氧化反应的程度和速率，从而实现对氧化层的控制，保证器件的质量和性能。

2. 氮气保护：充氮烤箱可以在烘烤和退火过程中提供氮气环境，避免氧化反应的发生，防止器件表面被氧化，保护器件的性能。

3. 清洁作用：氮气具有较高的纯净度，可以在烤箱内形成净化的环境，有效地减少杂质的污染，保证器件表面的洁净度。

4. 去除气体残留：充氮烤箱中的氮气可以迅速将烤箱内的气体残留物吹散，减少对器件质量的影响。

总之，充氮烤箱在半导体器件制造过程中具有重要的应用价值，可以提高器件的质量和性能，保证器件制造的可靠性。                               一、设备应用领域：

充氮烤箱也称惰性气氛保护烤箱应用于半导体、芯片、新能源电池、光伏组件、LED光电、精密金属、医疗器材、汽车零部件、通讯设备、化工等工业之烘烤、干燥预热回火、老化等用途。该工业充氮烘烤箱是一种新型可营造无氧洁净恒温环境的电热鼓风干燥箱，在加温工作的同时充入氮气，适用高温易氧化产品的烘烤加热。

二、设备特点：

1) 外采用SECC钢板、精粉体烤漆处理；内采用SUS不锈钢；

2) 全新耐高温长轴马达；

3) 涡轮风扇；

4) 硅胶迫紧（Sillcon packing）；

5) 超温保护：超负载自动断电系统；

6) 循环系统：强制水平送风循环；

7) 加热系统：PID+S.S.R；

8) 温控器：PID微电脑控制，全自动恒温，温度迅速补偿功能；

9) 计时器：温到计时，时到断电报警指示；

10) 充氮装置：气体减压阀，惰性气体流量控制，通入流出箱内管道。

三、主要技术参数：

72L： 450×400×400（mm）

RT+10℃～200℃ HE-N2-72II

RT+15℃～300℃ HE-N2-72III

RT+50℃～400℃ HE-N2-72IV

100℃～500℃ HE-N2-72V

125L： 500×500×500（mm）

RT+10℃～200℃ HE-N2-125II

RT+15℃～300℃ HE-N2-125III

RT+50℃～400℃ HE-N2-125IV

100℃～500℃ HE-N2-125V

150L： 500×500×600（mm）

RT+10℃～200℃ HE-N2-150II

RT+15℃～300℃ HE-N2-150III

RT+50℃～400℃ HE-N2-150IV

100℃～500℃ HE-N2-150V

216L： 600×600×600（mm）

RT+10℃～200℃ HE-N2-216II

RT+15℃～300℃ HE-N2-216III

RT+50℃～400℃ HE-N2-216IV

100℃～500℃ HE-N2-216V

控制精度： ±0.5℃（恒定时）

显示精度： 0.1℃

温度波动度： ±1.0℃（恒定时）

控制方式： 按键式控制或PLC程式触摸屏控制

氮气流量： 10L/min~60L/min

送风方式： 内部热风循环

玻璃视窗： 300℃以上机型无视窗

隔层架： 标配2个

使用电源： AC单相 三线 220V 50/60HZ 或 AC三相 五线 380V 50/60HZ

保护装置： 超温保护、缺相保护、接地保护、过载保护、快速保险、断路开关等

充氮烤箱在半导体器件制造中的应用有许多好处，包括：1. 氧化反应控制：充氮烤箱可以控制氧化反应的程度和速率，从而实现对氧化层的控制。这对于制造器件的质量和性能至关重要。

2. 氮气保护：充氮烤箱提供氮气环境，避免氧化反应的发生，保护器件表面免受氧化的影响。这有助于提高器件的可靠性和长期稳定性。

3. 清洁作用：充氮烤箱中的氮气具有较高的纯净度，可以形成净化的环境。这有助于减少杂质的污染，保证器件表面的洁净度。

4. 热量均匀分布：充氮烤箱能够提供均匀的热量分布，保证器件在烘烤和退火过程中的均匀加热。这有助于避免热应力和温度梯度对器件的影响。

5. 去除气体残留：充氮烤箱中的氮气可以快速将烤箱内的气体残留物吹散，减少对器件质量的影响。

综上所述，充氮烤箱在半导体器件制造中的应用有助于提高器件的质量和性能，保证制造过程的可靠性，并且有利于减少污染和热应力对器件的影响。