三层真空烤箱的常见故障及解决方法：

　　1、故障现象：芯部温度升温慢

　　原因分析：工作室内运风不正常，热风无法吹出；电池堆放过多，堵住热风循环；内发热丝坏。

　　解决办法：拆开工作室隔板，检查是否风扇损坏；常压情况下，用手持式温控仪检查腔内温度是否与芯部探测一致；测量发热丝阻值，检查是否发热丝损坏。

　　2、故障现象：主控温度频繁报警

　　原因分析：主控温度报警值设置过低，在充氮气时温度超过报警温度；芯部探头没有校正，与实际温度有偏差；外加热温控补偿值太高，PID设置不准确；探头异常。

　　解决办法：在真空环境下充氮气，会导致温度短暂升高，几分钟后会回落；常压情况下，用手持式温控仪检查腔内温度是否与芯部探测一致；适当将外主控温控表的参数“PD”值设为正数，降温后重新加温，可以降低外加热的补偿量；检查是否探头失真，更换探头。

　　3、故障现象：循环进行中真空报警

　　原因分析：腔体或其它机台腔体有漏真空现象；有腔体一直“真空发出暂停信号”。

　　解决办法：首先停止本腔体的真空运行，检查是否有真空泄漏；排查其它腔体泄漏可能性。

　　4、故障现象：循环进行中低温报警

　　原因分析：外加热系统中运行异常，可能风机损坏，或发热丝有损坏；内加热风机或发热丝损坏；

　　解决办法：检查内外加热系统，检查风机运转是否正常；检查内外发热丝是否有损坏；检查电压是否有缺相或接触器损坏。

　　5、故障现象：内风扇2A小型断路器跳闸

　　原因分析：风扇有烧坏；风扇卡死。

　　解决办法：检查风扇是否卡死，更换风扇。

　　6、故障现象：外发热包干烧报警

　　原因分析：外风机损坏；温控表设置温度过低；

　　解决办法：检查风机是否损坏；将温控表的报警值适当调整到合适。